極紫外光譜儀作為一款具備高性能的科研檢測設(shè)備，憑借其先進的光學(xué)設(shè)計與全面的技術(shù)特性，在多個科研及工業(yè)領(lǐng)域中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。設(shè)備核心采用全息凹球面變線距光柵進行分光，自帶平場特性，可便捷搭配面陣CCD完成光譜記錄，操作便捷且數(shù)據(jù)采集高效。同時，光柵采用掠入射模式工作，大幅提升衍射效率，保障光譜檢測的精準度；通過選配不同型號的光柵，更能實現(xiàn)0.6~200nm波長范圍的全面覆蓋，適配多樣化的檢測需求。
在應(yīng)用場景方面，該平場光譜儀的適配范圍廣泛，可深度服務(wù)于強場與高密度物理研究、半導(dǎo)體與集成電路制造及探測器研發(fā)、光源計量級標定等關(guān)鍵領(lǐng)域，既能滿足科研實驗中的高精度檢測需求，也能適配工業(yè)生產(chǎn)中的標準化標定工作，為各領(lǐng)域的技術(shù)研發(fā)與質(zhì)量管控提供可靠的光譜數(shù)據(jù)支撐。
設(shè)備的主要參數(shù)亮點突出，全面保障檢測性能與適配性：光柵類型選用凹球面變線距光柵，為精準分光奠定核心基礎(chǔ)；波長范圍可在0.6~200nm之間靈活選配，覆蓋極紫外波段關(guān)鍵區(qū)間；光譜分辨率可達0.015nm 13.5nm，且支持根據(jù)實際需求進行優(yōu)化調(diào)整，精準捕捉細微光譜差異；搭載科研級相機作為探測器，確保數(shù)據(jù)采集的清晰度與可靠性。
此外，設(shè)備還具備多項實用化設(shè)計：支持前置收光功能選配，可根據(jù)檢測場景靈活調(diào)整；配備遠程激光快速瞄準定位功能，提升操作效率，降低定位誤差；兼容高真空環(huán)境，可在5×10?³Pa的真空條件下穩(wěn)定運行，適配特殊檢測場景需求；搭載5μm~300μm在線連續(xù)可調(diào)狹縫，可根據(jù)檢測需求精準調(diào)節(jié)進光量，進一步保障光譜檢測的精準度與靈活性。
綜合來看，極紫外光譜儀以先進的光學(xué)構(gòu)造、寬廣的波長覆蓋范圍、超高的檢測精度及豐富的實用功能，成為科研與工業(yè)領(lǐng)域中具性價比的光譜檢測設(shè)備，為各領(lǐng)域的技術(shù)突破與質(zhì)量提升提供強有力的設(shè)備支持。
更新時間：2025-12-27
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